蔡司场发射扫描电子显微镜（Merlin Compact），是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。与能谱分析技术EDX相结合，更能够发挥其检测优势，给出完整准确的样品形貌和元素分析。蔡司场发射扫描电子显微镜配备热场发射电子源，具有2纳米的分辨率，最高放大倍数不低于100万倍；配备可准确分析化学成分的能谱仪（Oxford Instruments），成分分析结果与标样成分比照的相对误差低于5%。加速电压范围0至30kV。且具有超大视野观察模式，电子束成像模式下最大视野范围不小于50mm，能看大景深样品，例如断口等。可测金属、金属氧化物、陶瓷、玻璃等固体样品。
