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椭圆偏振仪

  • 技术指标:椭圆偏振仪测量的液膜厚度最小可达到0.45微米,光斑尺寸可达到2mm×6mm
  • 联 系 人:王涛
  • 联系方式:010-82543022;wangtao@iet.cn

仪器简介

  椭圆偏振仪主要应用于半导体行业的薄膜厚度测量。在微细尺度通道结构中,液体工质会在微结构内形成微米到纳米量级的薄液膜,而薄液膜的形成和分布状况是影响换热的重要因素。采用椭圆偏振仪可以测量不同微纳结构、多孔介质内的液膜厚度及二维空间分布特性。另外也可以测量多种固体薄膜的厚度。