中科院工程热物理研究所的蔡司场发射扫描电子显微镜（Merlin Compact），配备热场发射电子源，具有2纳米的分辨率，最高放大倍数不低于100万倍，配备可准确分析化学成分的能谱仪装置（Oxford Instruments），成分分析结果与标样成分比照的相对误差低于5%。加速电压范围0至30kV。具有超大视野观察模式，电子束成像模式下最大视野范围不小于50mm，能看大景深样品，例如断口等。可测如金属、金属氧化物、陶瓷、玻璃等固体样品。目前该电镜在中国科学院仪器设备共享管理平台（http://samp.cas.cn/）已开放，尚有空余机时，费用300元/时，欢迎大家预约使用。
（样品：金属铜） （样品：钙钛矿氧化物材料） （样品：玻璃）
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